클린룸 시설에서 사용되는 청소용도구는 천의 오염을 방지하기 위해 모든 것을 그 청정도 레벨구역 전용으로 해야 한다.

　1) 진공청소기
· 진공청소기는 클린룸내의 공기류를 심하게 흐트러지게
하는 것은 않된다.
· 이동식 진공청소기는 배기중의 0.3배 이상의 입자를
99.97%이상 포집할 수 있는 HEPA FILTER가 내장된
습식건식 병용품이어야 한다.
· 집중 배관청소 시스템은 배기를 거의 클린룸 밖으로
배출시키는 방식이나 배제공기량이 과다해서
클린룸내의 압력을 과도히 저하시키는 것은 않된다.
· 진공청소에 사용하는 흡입용호스, 이동식 진공청소기의
회전형 바퀴는 발진성이 적은 것을 선정 할것.

　2) 닦아내는 관계도구
· 발진성이 적은 클린룸용 폰지포나 우레탄 폰 스폰지가 적당하다.
· 닦아내는데 사용하는 유포로서 면류를 사용할때는 오염물을 통과시키지 않는 폴리에치렌
또는 나이론포로 양면을 싸서 봉합하고 평평히 하기 위해 누벼야 한다.
· 청정수 기타 청소용의 액체를 위한 물통은 스텐레스제 또는 고급 프라스틱으로서
용량 10ℓ정도의 것이 적당하다.
· 높은 곳을 닦아내기 위한 것이 필요하며 알미늄제로서 다리를 고정시킬수 있는 클린룸
전용의 사다리를 사용한다.