[ 청소용 액체 ]

1) 물
· 보통의 수도물에는 고형미립자, 유기물 광물질 등을 함유하고 있기 때문에 클린룸 청소용수로
사용할 수 없다.
· Class 100 및 1,000의 클린룸의 청소용에는 직경 0.45um이하의 박막 휠타로 여과한 물을
사용 할 것.
· Class 10,000 및 100,000의 클린룸 청소용은 직경 5um이하의 박막 휠타로서 여과한 물을
사용 할 것.

　2) 청소용수 용액
· Class 100 및 1,000의 클린룸 청소용수액은 스텐레스제 또는 고급 플라스틱으로서 용량이
10ℓ 정도의 물통에 시판의 저잔류선 중성세재 30g에 대하여 수도를 1LIT를 배합하여 잘
흔들어 혼합한 후 직경 0.45um의 박막 휠타로 여과해서 사용한다.
· Class 10,000 및 100,000의 클린룸 청소용구 용액은 스텐레스제 또는 고급 플라스틱으로서
용량이 10ℓ 정도의 물통에 시판의 저잔류성 중성세제 30g에 대하여 수도를 1LIT를 배합하여
잘 흔들어 혼합한 후 직경 5um이 하의 박막 휠타로 여과해서 사용한다.