1) 닦아내는데 쓰는 용구

· 닦아내는데 쓰는 용구의 수세법의 일례를 표-1에 표시한다.
· 닦아내는데 쓰이는 우레탄등의 모푸해드, 스폰지, 난포, 바케스 등은 천의 오염을 방지하기
위해 그 청정도 Class 구역 전용의 것을 사용할것.
· 닦아내는데 사용되는 용구는 사용중 수시 목측으로 검사해서 오손된 것은 준청정실용등으로
격하 사용하고 기 오손된 것은 폐각할 것.

[ 표-1 ]닦아내는데 쓰는 용구의 수세법의 일례

※ 잡포는 Class 100 및 1,000의 클린룸에서는 사용치 않음.

2) 닦아내는 작업

· 닦아내는데 쓰는 용구는 닦아낼 때마다 잘 씻은 것을 사용한다.
· A-I 닦아냄 : 닦아내는데 쓰는 용구를 Class 100 및 1,000의 클린룸 청소용수액에 적셔 잘
짠후 청소면을 닦아낸 다음 즉시 별도의 닦아내는데 쓰는 용구를 직경 0.45um이하의
박막 휠타로 여과한 물을 적셔 잘 짠 다음 청소면을 닦는다. 필요에 따라 이를 반복한다.
· A-II 닦아냄 : 닦아내는데 쓰는 용구를 Class 10,000 및 100,000의 클린룸 청소용수액에
적셔 잘 짠 후 청소면을 닦아낸 다음 즉시 별도의 닦아내는데 쓰는 용구를 직경 5um이하의
박막 휠타로 여과한 물을 적셔 잘 짠 다음 청소면을 닦아낸다. 필요에 따라 이를 반복한다.
· B-I 닦아냄 : 닦아내는데 쓰는 용구를 직경 0.45um이하의 박막휠타로 여과한 물에 적셔
잘 짠 다음 청소면을 닦아낸다. 필요에 따라 이 작업을 반복한다.
· B-II 닦아냄 : 닦아내는데 쓰는 용구를 직경 5um이하의 박막휠타로 여과한 물에 적셔 잘
짠 다음 청소면을 닦아냄. 필요에 따라 이 작업을 반복한다.
· 바닥, 벽, 천정 등 넓은 청소면을 닦아 낼때는 적당히 수회에 걸쳐 닦아내는데 쓰는 용구를
교체하여 사용한다.
· 닦아내는데 쓰는 용구를 씻을때 사용하는 6-4-2의 청소용수 용액 및 직경 0.45um이하의
박막휠타로 여과한 물 및 직경 5um이하의 박막휠타로 여과한 물에 표시된 물은 용구를
씻은 후 매회 갈아 쓰는 것이 바람직하다.
비교적 깨끗한 경우라도 3회 사용하면 교체하도록 한다.