[ 클린룸으로의 지입기기의 청정화 ]

1) 클린룸으로 지입되는 모든 기재 즉 제품, 기구, 설비, 재료등은 청정화하지 않으면 안된다.

2) 청정화 방법은 오염물의 종류 청정화해야 할 물품의 형태, 구조, 재료, 요구되는 청정도 등에
의해해당 클린룸의 전문가가 결정한다.

3) 클린룸에 지입되는 설비 등 대형물품은 처음부터 일반 환경이 오염구역에서 진공청소기로
기초 청정화를 한뒤 최종의 청정화는 준청정실에 클린룸용 진공청소기로 닦아내거나
다른 방법으로 필요한 청정화를 행한다.

4) 대형물품은 클린룸의 운전을 정지하고 있는 동안 지입한다.

5) 클린룸에서 사용하는 모든 소형물품은 준청정실에서 작업자가 전문가의 지시에 따라 클린룸
지입전 계획된 시간에 닦아내고 초음파세정기 또는 기타 방법으로 청정 정화해서 청정화된
4-4-1에서 표시된 운반상자에 넣어서 지입한다.

6) 클린룸내에서 당시 정밀한 청정화를 행할 필요가 있는 경우 클린룸 내에서 정밀 청정용의
설비를 한다. 이 설비에 대해서는 적절한 국소배기를 행한다.

7) 클린룸 시설에 지입하는 기재예비품은 최소한으로 한다.